工程项目环境
某门头半导体技术制造技术单位坐落长江三角洲形中北部,最主要分娩晶圆和集成块。在分娩期间中,晶圆切工和打磨抛光价段导致一大批抛光液废水解决工艺,单日摆放量下跌约50吨。由废水解决工艺中具有刺激性高氧化还原电位悬屏物、金属质铁离子及巧妙增添剂,单独摆放会对室内环境带来情况严重弄脏,单位现需鑫霖环保专注解决的设施。
污废水 基本成分及源于
机磨液生产废水是指从何而来于晶圆生产加工中的有机化学机拋光(CMP)生产工序,是指污染问题物是指:
飘浮颗料物
:二阳极脱色硅、阳极脱色铝等磨研颗粒剂,粒级在0.1-1μm,浓硫酸浓度高达mg2000mg/L。
合金金属化合物
:铜、铁、锌等,来源cnc精密机械加工垫磨损情况及晶圆表层合金材料层,铜化合物溶液浓度约50mg/L。
充分加上剂
:比如的表面活性酶剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性成分
:pH值价格波动大,通畅在2-11直接。
补救生产技术步骤
面对工业废水性能指标,进行“预正确加工处理+血生化+深度1正确加工处理”组合式工艺流程:
自动调节池
:稳定环境质量蓄水量,加碱酸调低pH至普通。
水泥混凝土石雕文化沉淀
:添加PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),快速清理浮动物和氢氧化铁,沉降后SS快速清理率>90%。
催化剂的作用腐蚀
:运用Fenton采血管(H₂O₂+Fe²⁺)降解塑料有机的修改剂,COD剔除率达60%。
菌物净化处理
:MBR膜菌物影响器进一大步可降解余量充分物,COD降到100mg/L下例。
铝离子相互交换
:用树酯吸附性铜亚铁离子,满水后铜含水量<0.5mg/L。
砂滤+活力炭过滤装置
:确保出液纯净,符合《将污水整体污染物规则规定》(GB8978-1996)特一级规则规定。
最后体验
操作系统程序运行维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
循环率达40%,剩于不合格的废气排放,年才能减少废水处理工艺的废气排放1.7万吨。
处理利润约15元/吨,远远低于行业内均衡。