该晶圆制造商厂最靠近华北东北部,重要产量制造8屏幕尺寸光电器件晶圆,单日废液释放量上涨约800吨。原因产量制造的时候中采用不少盐酸确定晶圆蚀刻,会导致废液中氟化物浓硫酸浓度高达hg200-300mg/L,远超部委释放标准规定(10mg/L接下来)。
废渣部分及来历
工业废水最主要位于三大流程:
晶圆蚀刻步骤
:含高有机废气浓度氟化物(HF)、氰化钠及一定量巨资属
化学上的物理打磨抛光(CMP)废水处理工艺
:含纳米级级硅粒子、有机质络合剂
机械拆洗废气
:含异丙醇、化学需氧量等无机物
进行处理工艺设备注意事项
选择"化学反应凝固+混凝土凝固+深度1滤出"三级考试治疗系統:
特一级治疗
:加药氯化钙和氢氧化的钙,转变成氟化钙沉淀物,氟化物快速清理率达85%
二次解决
:使用PAC(缩聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),的还原悬浊液态危害物
一级处里
:能够 多有机溶剂过虑器和化学活化炭吸附剂,有水出氟化物溶液浓度平稳在8mg/L这
重中之重生产设备还有:pH半自动调整系统化、斜管积淀池、板框板框压滤机(废水脱水现象)。
终结功效
項目工作五年期监测器数据统计展示:
氟化物平均水平氨水浓度:7.2mg/L(低过中国标准)
COD去掉率:92%
污水含水分率:≤65%
年收旧氟化钙副服务约150吨,控制資源化再生利用