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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆生产的线设备配套的超注射用水系统的,每天都在行成含硅焦化废水150吨。焦化废泥里虽无天价属,但硅成分高易积垢,且电阻值率需达成18MΩ·cm可以回收利用。本来的治疗施工工艺没法符合新颁发的《电子元器件重工业水生态破坏物废气摆放原则》(GB39731-2020)特殊废气摆放标准值。 生活污水组成特质 一般严重废弃物 :固体硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(粒度0.1-1μm) 特殊的条件 :TOC<10μg/L,硼含磷量<5μg/L 水污染的特点 :低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物底部形态缜密 外理加工过程流程步骤 研发应用"梯级膜拆分+电去亚铁离子"组合构成的工艺: 微滤预除理 :1μm陶瓷厂家膜屏蔽大顆粒硅,通量保证80LMH 阴离子相互交换光敏树脂 :D201大孔硅橡胶考虑性物理吸附硅酸原子 一级RO程序 :最段二手回再回收率60%,第二步段按照高脱硼膜电气元件 EDI电去化合物 :电压孔隙率2A/m²,延续去掉残余物阳离子 UV紫外线除臭 :254nm红外光谱线用药量40mJ/cm² 技能不足之处 定制开发用阻硅剂(生产胺类pp物),减缓膜破坏频次3倍 EDI组件研发流道设计方案,硅除掉率提升自己至99.8% 免费在线硅数据测试仪(侧量标准0.1-500μg/L)完成精准度管理 正常运作成效显著 经其次方测量: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含量的从8μg/L降落到0.3μg/L 操作系统的回收利用率从原40%优化至68% 膜更新时间延长了至5年,年运动价格大幅度降低35%

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